나고야대학이 설립한 스타트업인 포토일렉트릭소울(Photo electron Soul Inc., 이하 PeS)(최고경영자: 스즈키 다카유키)은 오늘 우시오(USHIO INC., 이하 USHIO)(사장 겸 최고경영자: 나이토 코지)가 주도하는 일반 파트너 그룹으로부터 7억3000만엔을 조성했으며, USHIO와 전자빔 반도체 웨이퍼 패턴 검사 도구에 사용되는 반도체 광음극 전자빔 생성 시스템에 대한 독점 배급업체 계약을 체결했다고 발표했다.

PeS는 반도체 광음극 전자빔 시스템을 성공적으로 개발한 세계 유일의 회사이다. PeS는 현재 ‘반도체 광음극 전자빔으로 반도체 산업의 미래를 창조한다’는 사명으로 반도체 검사 시스템 사업 추진에 전념하고 있다. PeS 전자빔 시스템을 반도체 검사 도구에 통합하면 1) 기존 전자빔 시스템에 비해 처리량을 10배 이상 향상하고 2) 전자빔의 선택적 방사를 통해 트랜지스터의 비접촉 테스트를 수행하며 3) 빔 선량을 즉각적으로 제어해 종횡비가 30 이상인 깊은 구멍 바닥에 숨겨진 입자를 탐지할 수 있다.

PeS 최고경영자 스즈키 다카유키는 “반도체 광음극 전자빔을 통해 당사가 제공하는 최신 기술은 반도체 장치 개발 및 제조의 생산성 향상에 크게 기여하고 있다. 당사의 반도체 검사 시스템 사업은 이제 막 첫 번째 판매 단계에 진입했으며, 이미 일부 장치 제조업체 및 검사 도구 공급업체와 기술 협력을 시작했다. USHIO로부터 자금 지원을 받고 USHIO와 독점 배급업체 계약을 체결하게 된 것을 기쁘게 생각한다. USHIO의 반도체 검사 도구용 광원에 대한 글로벌 판매 및 서비스 네트워크를 적극 활용할 수 있기 때문이다. USHIO는 반도체 검사 도구 공급업체와 장치 제조업체 모두를 대상으로 반도체 광음극 전자빔 시스템에 대한 판매 활동을 시작할 계획이다”라고 말했다.

반도체 광음극 전자빔 기술 및 이 기술을 사용한 제품에 대한 자세한 내용은 PeS 웹사이트의 다음 링크에서 확인할 수 있다.
PeS 기술:나고야대학이 설립한 스타트업인 포토일렉트릭소울(Photo electron Soul Inc., 이하 PeS)(최고경영자: 스즈키 다카유키)은 오늘 우시오(USHIO INC., 이하 USHIO)(사장 겸 최고경영자: 나이토 코지)가 주도하는 일반 파트너 그룹으로부터 7억3000만엔을 조성했으며, USHIO와 전자빔 반도체 웨이퍼 패턴 검사 도구에 사용되는 반도체 광음극 전자빔 생성 시스템에 대한 독점 배급업체 계약을 체결했다고 발표했다.

PeS는 반도체 광음극 전자빔 시스템을 성공적으로 개발한 세계 유일의 회사이다. PeS는 현재 ‘반도체 광음극 전자빔으로 반도체 산업의 미래를 창조한다’는 사명으로 반도체 검사 시스템 사업 추진에 전념하고 있다. PeS 전자빔 시스템을 반도체 검사 도구에 통합하면 1) 기존 전자빔 시스템에 비해 처리량을 10배 이상 향상하고 2) 전자빔의 선택적 방사를 통해 트랜지스터의 비접촉 테스트를 수행하며 3) 빔 선량을 즉각적으로 제어해 종횡비가 30 이상인 깊은 구멍 바닥에 숨겨진 입자를 탐지할 수 있다.

PeS 최고경영자 스즈키 다카유키는 “반도체 광음극 전자빔을 통해 당사가 제공하는 최신 기술은 반도체 장치 개발 및 제조의 생산성 향상에 크게 기여하고 있다. 당사의 반도체 검사 시스템 사업은 이제 막 첫 번째 판매 단계에 진입했으며, 이미 일부 장치 제조업체 및 검사 도구 공급업체와 기술 협력을 시작했다. USHIO로부터 자금 지원을 받고 USHIO와 독점 배급업체 계약을 체결하게 된 것을 기쁘게 생각한다. USHIO의 반도체 검사 도구용 광원에 대한 글로벌 판매 및 서비스 네트워크를 적극 활용할 수 있기 때문이다. USHIO는 반도체 검사 도구 공급업체와 장치 제조업체 모두를 대상으로 반도체 광음극 전자빔 시스템에 대한 판매 활동을 시작할 계획이다”라고 말했다.

반도체 광음극 전자빔 기술 및 이 기술을 사용한 제품에 대한 자세한 내용은 PeS 웹사이트의 다음 링크에서 확인할 수 있다.
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